ホーム>最新情報>岡本助教、藤井慎哉(M2)らの研究成果がメディアで紹介されました。

岡本助教、藤井慎哉(M2)らの研究成果がメディアで紹介されました。

2016年12月20日

http://resou.osaka-u.ac.jp/ja/research/2016/20161220_1

○ 電子デバイス産業新聞 
「EUVLに新手法 添加剤でレジスト感度2倍 阪大など5大学のCOREラボ」(2017.1.26)

○ OPTRONICS ONLINE
「北大ら,フォトリソの感度を上げる添加剤を発見」 (2016.12.21)
http://www.optronics-media.com/news/20161221/45189/

○ PC Watch 「北大、EUV露光による半導体生産を高める手軽な新手法を開発」(2016.12.21) http://pc.watch.impress.co.jp/docs/news/1036328.html

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