野村直矢 (M1)が第27回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC 2014)で「Radiation Chemistry of Fluorinated Polymers for Extreme Ultraviolet Resist」を発表しました。(福岡市 ヒルトン福岡シーホーク)

2014年11月07日

このページの先頭へ