AFM

ポーラスアルミナバリヤー層の観察

ポーラスアルミナバリヤー層の観察

サンプル:シュウ酸やリン酸などの酸性溶液中でアノード酸化してポーラス層を形成させたアルミニウム箔。ポーラスのバリヤー層を、アルミニウムを溶解させてアルミニウム側から観察

観察条件:DFM(ダイナミックフォースモード) カンチレバー:SI-DF40

アルミニウム側からの観察。形状像と3次元表示

アルミニウム側からの観察。断面プロファイル

AFMでは上記のような数十nmの凹凸の形状像を容易に得る事が出来ます。ダイナミックフォースモードを用いれば試料表面を壊しにくいので安定した形状像が得られます。得られた画像から断面プロファイルを作製したり、表面粗さについて評価したりすることが出来ます。

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