月別アーカイブ: July 2015

XPSのAr+イオンガンの修理が完了しました&各種変更点について

XPSのAr+イオンガンの修理が完了しました。 従来通り、イオンガンを利用したAr+イオンエッチングによるコンタミ除去やデプスプロファイルが可能です。 イオンガンのメンテナンスに伴い、XPSの設定に変更点があります。ご確 … 続きを読む

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XPSのAr+イオンガンが現在使えません

いつもご利用ありがとうございます。 装置の定期メンテナンスが先週終了しましたが、メンテナンス中にイオンガンの調整で不具合が生じてしまい、当期間中に復旧出来ませんでした。 Ar+イオンガンの再調整を近日中に行う予定です(7 … 続きを読む

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装置利用料の変更について

いつもご利用頂きありがとうございます。 今年度7月1日より、消費税の増税や施設電気代の値上がりに伴いまして、各装置の利用料が変更になりました。 学内ユーザーについては通常ユーザー・ナノテクユーザー共に全装置で利用料金に変 … 続きを読む

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