月別アーカイブ: October 2013

装置利用料について

いつもご利用頂きありがとうございます。 本日、当研究室の運営委員会により装置使用料金に関する細則の変更が承認され、平成25年10月1日から施行される事となりました。 これはナノテクプラットフォーム事業の規程の改正に伴うも … 続きを読む

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XPSマニュアル更新について

いつもご利用頂きありがとうございます。 XPSのマニュアルが更新になりました。装置利用するユーザーの方は確認してください。 主な変更点については以下の通りです。 ・アルゴンイオンガンCh1番のエッチングレートの変更 加速 … 続きを読む

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